2X雙級(jí)旋片式真空泵結(jié)構(gòu)及原理:
圖1是2X旋片式真空泵泵原理圖,轉(zhuǎn)子3及7與高真空室外1及低真空室6相切,轉(zhuǎn)子3及7沿箭頭方向旋轉(zhuǎn),帶動(dòng)轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動(dòng)的轉(zhuǎn)片旋轉(zhuǎn),由于彈簧9及離心力的作用, 轉(zhuǎn)片外端緊貼高低真空室的內(nèi)表面滑動(dòng),把轉(zhuǎn)子與高低真空室所形成的月洼形空間從進(jìn)氣嘴2到排氣閥門5和從過(guò)氣管4到排氣閥門10之間分隔開來(lái),形成二或三個(gè)容積,并且周期性的大小變化,當(dāng)在圖示旋片式真空泵位置繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí)A及C容積逐漸增大,被抽容積氣體沒進(jìn)氣嘴進(jìn)入泵內(nèi),同時(shí)B及D容積逐漸減少,壓力升高,隨后沖開排氣閥門5及10,將氣體排出真空室外,氣體經(jīng)過(guò)油面而排于大氣之中,因?yàn)橛褪茄妥∨艢忾T的,故能防止氣體返回真空室。當(dāng)抽氣壓強(qiáng)較高時(shí),高低真空室的閥門都排氣,相當(dāng)于單級(jí)泵,當(dāng)真空度較高時(shí),全部氣體進(jìn)入真空室,再由排氣閥門10排出,此時(shí)二級(jí)串聯(lián)即進(jìn)入雙級(jí)泵工作。
如被抽除的氣體中含有較高的蒸汽氣體時(shí),在氣體受到壓縮而其蒸汽的分壓強(qiáng)超過(guò)此蒸汽在泵內(nèi)溫度下的飽和壓強(qiáng)時(shí),此時(shí)蒸氣被壓縮成為液體,旋片式真空泵無(wú)法排出,而混在真空油內(nèi),使泵的性能大大降低。如果摻入適量的空氣,使蒸汽在受到壓縮時(shí),其分壓強(qiáng)也低于泵溫的飽和壓強(qiáng),則蒸汽在變成液體前就能被排出泵外去,故本系列2X-4以上的泵都裝有能放入一定量氣體的摻氣閥11見圖1。
圖1:2X型真空泵工作原理圖
1 | 高真空室外 | 2 | 進(jìn)氣嘴 | 3 | 轉(zhuǎn)子 | 4 | 過(guò)氣管 | 5 | 排氣閥門 |
6 | 低真空室 | 7 | 轉(zhuǎn)子 | 8 | 刮片 | 9 | 彈簧 | 10 | 排氣閥門 |
2X系列的各種真空泵的外形和結(jié)構(gòu)是基本相同的,泵由電機(jī)經(jīng)三角皮帶傳動(dòng)到轉(zhuǎn)子。電動(dòng)機(jī)和泵用螺釘卡板固定在底盤上。
2X真空泵由泵體、高轉(zhuǎn)子、低轉(zhuǎn)子、前端板、后端板、高轉(zhuǎn)片、低轉(zhuǎn)片、排氣閥、排氣罩、視鏡等零部件組成。見圖2、圖3。在體內(nèi)壓入一個(gè)中隔板、將真空泵殼分成高低真空室,各室都有排氣門,高真空室排氣與低真空氣相通。高轉(zhuǎn)子前端伸出前軸;后端伸出后軸。前軸通過(guò)前端板的軸承支持、經(jīng)過(guò)油密封室而伸出前端板外:后軸由中隔板上的軸承支持。而伸入低真空室內(nèi),低真空室轉(zhuǎn)子則裝在后軸上、故高低轉(zhuǎn)子均由前軸帶動(dòng)。高低轉(zhuǎn)子都有對(duì)開的槽子,呈“T”形的旋片由彈簧支撐開而裝于槽內(nèi)。2X實(shí)驗(yàn)室旋片式真空泵的進(jìn)氣口處有過(guò)濾網(wǎng),而排氣口處有擋油網(wǎng),視鏡左邊有摻氣閥,下邊有放油塞。
圖2:2X真空泵的結(jié)構(gòu)圖
氣體路徑 | 3 | 過(guò)濾網(wǎng) | 8 | 彈子 | 13 | 排氣罩 | 18 | 后端板 | 23 | 水蓋板 | |
—→高真空路徑 | 4 | 皮帶輪 | 9 | 前軸 | 14 | 排氣罩墊 | 19 | 低轉(zhuǎn)子 | 24 | 排氣閥片 | |
—→高真空路徑 | 5 | 前端板 | 10 | 油密封室 | 15 | 擋油網(wǎng) | 20 | 冷卻水接頭 | 25 | 視窗 | |
1 | 進(jìn)氣嘴 | 6 | 高轉(zhuǎn)片 | 11 | 彈簧 | 16 | 泵殼 | 21 | 鍵 | 26 | 摻氣閥 |
2 | 密封圈 | 7 | 高轉(zhuǎn)子 | 12 | 定位銷釘 | 17 | 中隔板 | 22 | 底轉(zhuǎn)片 | 27 | 放油塞 |
圖3:2X真空泵剖面圖
1 | 皮帶輪 | 6 | 排氣咀 | 11 | 低轉(zhuǎn)子 | 16 | 鋼珠 | 21 | 閥片 |
2 | 鍵 | 7 | 密封圈 | 12 | 彈簧 | 17 | 手柄 | 22 | 檔板 |
3 | 前端板 | 8 | 排氣罩 | 13 | 底轉(zhuǎn)片 | 18 | 放油塞 | 23 | 油蓋 |
4 | 高轉(zhuǎn)子 | 9 | 過(guò)濾網(wǎng) | 14 | 后端板 | 19 | 紙墊 | 24 | 定位銷釘 |
5 | 高轉(zhuǎn)片 | 10 | 泵體 | 15 | 彈簧 | 20 | 閥座 |
2X旋片式真空泵抽氣過(guò)程:見圖2,氣體由進(jìn)氣嘴進(jìn)入高真空室,起初是高壓強(qiáng),高低真空室都充滿大氣,兩個(gè)排氣門都打開排氣。隨著抽氣的進(jìn)行,氣壓下降(即真空度提高),高真空室壓力不足以推開排氣門,氣體經(jīng)中隔板進(jìn)入低真空室,此時(shí)壓力亦不足推開排氣門,但低真空室進(jìn)入有一定量油,幫助推開排氣門,氣體亦隨之排出。排出的氣體平雜著的油粒,經(jīng)擋油網(wǎng)濾而使油分離,只有氣體排出泵外,氣體路徑見圖2。
2X真空泵油密封室里的油,由油池A經(jīng)前端板上的孔供給。低真空室里的油,由油池A經(jīng)后端板上的孔供給。高真空室的油,由中隔板上的孔,循環(huán)供給。2X真空泵前后端蓋的密封是由泵體上部的油池B經(jīng)泵體端面室的孔而流入油槽進(jìn)行密封。
2X雙級(jí)旋片式真空泵性能參數(shù)表:
參數(shù)/型號(hào) | 2X-4A | 2X-8A | 2X-1 | 2X-30A | 2X-70A | 2X-100A | |
抽氣速率(L/s) | 4 | 8 | 15 | 30 | 70 | 100 | |
極z限壓力(Pa) | 分壓力 | ≤6×10-2 | ≤6×10-2 | ≤6×10-2 | ≤6×10-2 | ≤6×10-2 | ≤6×10-2 |
全壓力 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | |
電動(dòng)機(jī)功率(kw) | 0.55 | 1.1 | 2.2 | 3 | 5.5 | 7.5 | |
轉(zhuǎn)速(r/min) | 450 | 320 | 320 | 450 | 420 | 360 | |
溫度(℃) | ≤40℃ | ||||||
噪音(dBA) | ≤75 | ≤78 | ≤80 | ≤82 | ≤86 | ≤90 | |
進(jìn)氣口徑(mm) | 25 | 40 | 40 | 65 | 80 | 90 | |
用油量(L) | 1 | 1.5 | 2 | 3 | 4.2 | 5 | |
外形尺寸(mm) | 540×335×380 | 790×430×540 | 790×530×540 | 780×500×560 | 910×650×700 | 113×740×690 | |
適用電磁壓差閥 | DDC-JQ25 | DDC-JQ40 | DDC-JQ40 | DDC-JQ65 | DDC-JQ80 | DDC-JQ100 | |
冷卻水量(L/mm) | ― | ― | ― | 71 | 72 | 72 | |
毛重/凈重(Kg) | 55/50 | 158/148 | 202/190 | 230/216 | 338/320 | 400/370 |
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